1、被控制对象
要求实现控制的真空装置或生产过程，称之为被控制对象。例如真空阀、
真空泵、真空镀膜机、真空热处理炉等。
2、测量装置
测量被控制量变化的装置。例如:真空计、温度计、膜厚测量仪等。
3、调节装置(调节器)
它把测量装置所测量的被控制童与真空工艺所需要保持的给定值相比较，得出偏差值，并按设计好的运算规律进行运算，发出信号，使控制执行机构动作，以消除被控制量与给定值的偏差。如模拟PID(比例、积分、微分)调节器、数字PID调节器(即单片机、计算机)等。在真空装置的真空度控制中，它通常与测量装置的真空规及执行机构的真空调节阀组合在一起，构成压力控制仪。
4、执行机构
它接受调节装置发出的信号，产生调节作用，以消除被控制量与给定值的偏
差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。
5、被控制量
系指被控制对象内要求实现控制的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。
6、测量值
测量装置所测得的被控制量的实际值。
7、给定值
被控制量要求保持恒定或按预定规律变化的规定值。
8、偏差
测量值与给定值之差。
9、扰动干扰
它是使被控制量产生变化的因素。扰动分两种:一种为控制系统内各个环节产生的扰动，称为内扰;另一种为控制系统以外对系统产生的干扰，称为外扰。
10、反馈
把输出信号送回到输人端，以增强或减弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号增强者称为正反馈;反之，则称为负反馈。在自动控制系统中多采用负反馈。
11、调节过程系指控制系统受到加外信号(给定值或扰动)作用后，原来的平衡状态遭到破坏，由于自动控制装置的调节作用，使被控制量回复到原来的平衡状态，或过渡到新的平衡状态的过程。
12、位式调节
系指被控制量偏离给定值时，调节器使执行机构全开或全关的调节。如具有上、下限压力给定的真空继电器的压力调节。
13、比例调节
调节器输出的信号与偏差大小成比例，使执行机构的位置对应于偏差的大小，它能减小偏差，但是不能完全消除偏差。常用P(Proportional)表示。
14、比例积分调节
调节器输出的信号不仅与偏差成比例，且与偏差对时间的积分成比例，使执行机构按偏差的比例、积分规律进行调节，是理论上偏差为零的调节。常用PI (Propor-tional Intergral)表示。
15、比例积分微分调节
是将比例、积分、微分三种调节规律结合起来的综合调节，调节器输出的信号不仅与偏差的大小及偏差存在的时间长短有关，还与偏差变化的速度有关。常用PID(Proportional Intergral Derivative)表示。
16、比例放大倍数Kp增大Kp，可使静态偏差变小，但系统的稳定性变差;反之，则可提高系统的稳定性，但是，静态偏差变大。通常用调节器的比例放大倍数Kp的倒数8表示，称为比例度。
17、积分时间T表示积分调节作用速度和强弱的可调参数。在模拟积分调节器中，其数值等于调节器积分回路的时间常数。
18、微分时间Td
表示调节器中微分调节作用强弱的可调参数。在模拟微分调节器中，其数值等于调节器微分回路的时间常数。
19、稳定性
系指控制系统在扰动作用下，过渡过程能否结束并达到平衡状态的性能。在
扰动消除后，系统能恢复原来的平衡状态的则是稳定的。
20、稳态精度
系指系统处于平衡状态时，被控制量与给定值的偏差(即静态偏差)。
21、动态精度
系指系统在随时间变化的给定信号作用下所具有的精度。在定值系统中，动态精度就是过渡过程最大动态偏差。
22、自动控制系统
自动控制装置和被控制对象组成自动控制系统，它能够使被控制对象按预定的规律动作，自动完成真空工艺过程。如镀膜机微机控制系统等。